返回第三十四章:国产第一台极紫外光刻(1 / 2)欢然然首页

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随着中控室的一声令下,科研人员在控制面板输入了指令。

不一会儿,机械臂吸附起了一块12英寸的晶圆。

放入正在传送的履带之后,晶圆被拖动进入了黑色的光刻机之中。

旁边的操作人员紧张的汇报着数据。

因为过于紧张,连声音都有些颤抖。

“报告……系统程序启动成功!”

“电压稳定设备运行正常!”

“监控设备运行正常!”

“EDA软件运作正常。”

“……”

一个个汇报声传来,每一个声音都是对一个步骤的确认。

在各个工序全部确认完毕之后,极紫外光刻机终于启动了!

“光源放光!”

此时整个研究室鸦雀无声,落针可闻!

看着屏幕的缓缓拖动的进度条,大家仿佛开始在幻想,光刻机里正在发生的事情。

由40千瓦驱动的深紫外光脉冲照射在从方滴落的液态金属锡,金属锡被轰成等离子体,随后光源再次放光,深紫外光闯过离子态的锡雾,变成了极紫外光的动感光波。

光线闯过透镜组,经过重重聚焦集束,随后反射折射,最终落在移动工件台的表面。

台托着的硅片被光线照射,表层的光刻胶因为曝光而疲软溶解,晶体管的纹路就如同雨后春笋一样冒了出来。

没错,光刻机不是用光来雕刻硅片,而是用光来腐蚀“见光死”的光刻胶。

陆晨仿佛可以听到,机器中滴落的液态金属锡被光脉冲轰击的声音。

其实这个过程发出的声音,以人类的耳朵根本不可能捕捉。

但是他总感觉能隐约听到,那种光脉冲释放时发出的,仿佛急促大风的呼啸声。

除了仪器发出的细微声响之外。

整个净室,哪怕大家相距胜远,都能听到彼此的呼吸和心跳!

陆晨目光在这一刻死死地盯着主控台的主屏幕,看着显示屏幕的光刻进度条。

进度条一点点的衍生,他的手心微微发汗。

这是他第一次负责这种国家级的项目,紧张在所难免。

最关键的是,他已经完成了全部的问题排查!

各个部门,各个小组!

甚至每一个人的工作。

全部被他查了一遍!

如果这样还无法成功,那么就说明,这个图纸出了问题!

极紫外光刻机太重要了。

有了它,只要有了芯片图纸,就可以制造出来相应的芯片!

无论是现在的7nm,或者国外刚刚出来的5nm,还是传言三年后才能研发出来的3nm!

极紫外光刻机都可以做到!

终于,在大家的期待之下,进度条成功拉满!

一块晶圆被吐了出来,机械臂再度将其抓起,放入了烘焙机。

按理来说,这一步光刻机的工作已经完成。

但是这并不代表成功。

因为没人能知道,这块芯片是否具备实用性。

就好像是超市买的包子,谁知道里面有多少馅儿?

硅片曝光之后进行后烘,将近一百度的热风吹了硅片一分钟。

加热后光刻胶之中的光化学反应充分完成,消除掉光刻胶显影之后因为驻波效应产生的纹路。

这还没有完成。

硅片很快被放入了刻蚀机。

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